Semiconductor

半导体

与半导体工艺设备深入联动，疏通物流瓶颈，显著提升产量。

Overview

连接半导体工艺与物流的智能自动化解决方案

半导体

MX Robotics凭借对半导体产业深刻的理解和不断积累的技术能力，提供将工艺制程与搬运物流有机结合在一起的自动化解决方案。我们基于丰富的产品线和解决方案配置经验，量身定做符合客户生产环境和要求的最优化系统。以出色的品质保证，从设计、安装到无忧运行的每个环节中，都能实现高度稳定性和高效率。通过不断的研发创新与持续拓展设备阵容， MX Robotics正为半导体行业提供更精细、更柔性化的智能自动化方案。

Introduce Hi-Tech Hub

Hi-Tech Hub 介绍

Hi-Tech Hub 전경

Hi-Tech Hub 전경

(地址：韩国京畿道乌山市加场产业西北1路85号)

Clean Room

Clean Room

반도체 주요 설비

반도체 주요 설비

MX Robotics Hi-Tech Hub作为半导体物流的核心基地，通过专业人员不断的技术创新，构建了无可比拟的业务竞争力。尤其是技术集成体——展厅(Show Room)，通过高端设备的常态化展示，建立了客户信任并引领市场拓展。 MX Robotics凭借经过验证的技术实力和实时解决方案，正在创造全球半导体物流的新标准。

Reference

重点合作企业

SEMICONDUCTOR

半导体

SK Hynix

Winpac

Equipment

主要设备

存储设备

Stocker

Stocker

·为维持工艺内最佳生产平衡，对物料进行保管及出入库的自动化设备
·根据搬运物的不同，提供多种型号/类型

Wafer Stocker

Wafer Stocker

·存储300mm晶圆时，为最小化占地面积，将晶圆从FOUP中取出单独保管的设备
·晶圆保管区维持N2环境

STB (Side Track Buffer)

STB (Side Track Buffer)

·可物理搁置晶圆盒(FOUP)的货架式缓冲装置，用于消除瓶颈并缩短搬运时间
·具备 Normal / N2 Type

搬运设备

OHT (Overhead Hoist Transport)

OHT (Overhead Hoist Transport)

·在半导体生产线等需要高物流量的环境中，沿天花板安装的轨道自动运输物流的搬运系统
·空间效率 / 高速行驶

AMR (Autonomous Mobile Robot)

AMR (Autonomous Mobile Robot)

·无需人工操控或物理导轨，自主感知周围环境并找到最优路径前往目的地的智能机器人
·在AMR上部结合协作机器人(Collaborative Robot)，构成移动操作臂(Mobile Manipulator)形态

Conveyor

Conveyor

·与工艺设备及附属设备联动，在最佳时间将物料自动供应至所需设备的输送装置
·可配置多种类型

接口设备(Interface)

EBS(Equipment Buffer System)

EBS(Equipment Buffer System)

·安装于工艺设备周边，与OHT及工艺设备进行接口连接，提升工艺设备运行效率的Tool Buffer System
·Normal / N2 Purge Type

MLUD(Manual Load & Unload)

MLUD(Manual Load & Unload)

·为与半导体工艺自动化输送系统联动，供作业人员手动进行物料出入库而安装的接口设备。

TIO(Tray Auto In / Auto Out)

TIO(Tray Auto In / Auto Out)

·利用Tray这一规范托盘治具，能够使完成封装并打包成盘状的芯片颗粒被顺畅平稳地载入(In)进入下一道工序内，并在检验完结后再自动回装在Tray盘内以送出(Out)的专机设备。